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  • NX System
    「Simple is the Best」を基本に、防錆機能を強化し、
    更に進化するNew Daiwa Systemを構築しました。
    マガジンラック式自動投入機
    (型番:NX201)
    製品名 マガジンラック式自動投入機 (型番:NX201)
    標準仕様
    基板寸法 最小510㎜(W)(一定)×340㎜(L)
    最大510㎜(W)(一定)×510㎜(L)
    基板厚み 0.4㎜~2.3㎜
    処理量 6枚/分
    特徴 マガジンラックから1枚ずつ取り出し、ラインへ投入する装置です。
    マガジンラックとは、基板を1枚ずつ立てるラックのことで、このラックは基板同士が接触しない点が特徴です。
  • Dラック式自動投入機
    (3軸ロボットタイプ)(型番:NX761)
    製品名 Dラック式自動投入機
    (3軸ロボットタイプ)(型番:NX761)
    標準仕様
    基板寸法 最小300㎜(W)×300㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.03㎜~3.2㎜
    処理量 7枚/分
    特徴 0.1mm以下の薄い基板に対応が可能です。Dラックからラインへ1枚ずつ基板を投入する装置です。この装置は投入動作部分に、3軸のロボットを使用しています。ダイワのオリジナルである3軸ロボットは、なんと日本初!3軸ロボットを導入したことにより、不揃いな基板サイズにも対応可能となり、かつ、様々なラック形態に対応が可能となりました。
    【対応可能のラック】
    ・Dラック(薄い基板)・Lラック(通常の厚み~厚い基板)・パレット(平積み)…等
    他、ご相談ください。
  • Dラック式自動受取機
    (型番:NX817)
    製品名 Dラック式自動受取機(型番:NX817)
    標準仕様
    基板寸法 最小300㎜(W)×300㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.03㎜~3.2㎜
    処理量 6枚/分
    特徴 0.1mm以下の薄い基板に対応された弊社オリジナルの装置です。
    ラインから流れてくる基板を受け取り、Dラックへ保管していきます。
    この装置の専用ラックであるDラックは平面に近い角度で製作されているため、薄い基板が滑り難いのが特徴です。
■ その他 取扱い製品
・マガジンラック式自動受取機(型番:NX501)
・Dラック式自動投入機(型番:NX715)
・薄型対応アルミラック式自動投入機(型番:NX239)
・薄型対応アルミラック式自動受取機(型番:NX256)
・平積式自動投入機(型番:NX101)
・平積式自動受取機(型番:NX102)
  • VF Series
    VF-Seriesとは、マテリアル・ハンドリングシステムの
    スタンダードタイプシリーズです。
    可搬式ラック自動受取機
    (型番:VF244)
    製品名 可搬式ラック自動受取機(型番:VF244)
    標準仕様
    基板寸法 最小250㎜(W)×250㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.1㎜~3.2㎜
    能力 6枚/分 (高速タイプ:8枚/分)
    特徴 ラインから流れてくる基板をアームで受け取り、可搬式ラック(Lラック)に重ねて回収していく装置です。自立のできる薄い基板から厚い基板まで対応しています。この可搬式ラックはLラックとも呼ばれています。受取機と対になる可搬式ラック自動投入機で、ダイワの名をメジャーにしました。
■ その他 取扱い製品
・可搬式ラック自動投入機(型番:VF228)
・段積ストックコンベア(型番:VF453)
・ウィケット式コンベア(型番:VF160)
・アルミラック式自動投入機(型番:VF239)
・アルミラック式自動受取機(型番:VF256)
・ターンコンベア(L字方向・T字方向・十字方向)(型番:VF153)
・中央整列コンベア(型番:VF155)
・90度基板回転コンベア(型番:VF800)
・90度方向変換コンベア(型番:VF900)
・可搬式ラック合紙取出式自動投入機(型番:VF229)
・可搬式ラック合紙挿入式自動受取機(型番:VF245)
  • W system
    W-Seriseとは、基板と基板の間に合紙が入っている状態で基板をライン投入し、合紙はストックヤードに取出をする。
    また、受取機はラインより基板を、ストックヤードより合紙を挿入し受け取る装置です。
    W-system自動受取機
    (型番:WU318)
    製品名 W-system自動受取機(型番:WU318)
    標準仕様
    基板寸法 最小250㎜(W)×250㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.03㎜~3.2㎜
    処理量 6枚/分
    特徴 Dラックと同様、0.1mm以下の薄い基板に対応できるWラックに、コンベアを傾斜させて、ラインから流れてくる基板を受け取ります。
    基板や合紙を吸着パッドを使用せずに受け取るため、基板への接触を最小限にすることができます。
■ その他 取扱い製品
・W-system自動投入機(型番:WL318)
  • LX Series
    オートローダー
    (ロータリータイプ)
    (型番:LX423)
    製品名 オートローダー(ロータリータイプ)(型番:LX423)
    標準仕様
    基板寸法 最小250㎜(W)×250㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.05㎜~3.2㎜
    処理量 基板交換時間5.5秒(最速)
    特徴 生産・検査装置(露光機や中間検査装置等)のステージ上に置かれた基板1枚を取り出し、次に処理をしたい基板1枚をステージ上に自動で置く装置です。
    現在、手動で基板を投入・取り出しをしている工程の自動化が可能となります。
    基板を搬送する部分に対に1枚ずつ持てる吸着ハンドがあり、同時に2枚搬送することが出来る装置です。
    生産・検査装置のステージ上で180°回転し、基板の投入・取り出しを行います。
■ その他 取扱い製品
・オートローダー(ストレートタイプ)(型番:LX393)
・オートローダー(type R)(型番:LX607)
  • BR Series
    バフ式クリーナー
    (型番:BR341)
    製品名 バフ式クリーナー(型番:BR341)
    標準仕様
    基板寸法 最小250㎜(W)×250㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.06㎜~3.2㎜
    処理量 ~10m/min 6秒/枚
    特徴 特殊ファイバー製ブラシとエアーでゴミ(塵)を基板や合紙両面から払い、そのゴミを集塵する装置です。
    0.1mm以下の基板厚にも対応可能です。
    粘着ローラーでは取り除きにくい塵埃の除去が可能です。
■ その他 取扱い製品
・バフ式クリーナー(型番:BR220) 0.4~3.2mm
・薄板対応バフ式クリーナー(型番:BR330)0.06~0.4mm
Accessory
  • 薄型基板対応アルミラック
    (型番:ABR-220)
  • マガジンラック(型番:NX901)
  • Dラック(型番:RD003)
  • Dラック台車(型番:WD002)
  • 自動搬送台車(型番:WG101)
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